国际光学工程学会
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作者:Xukai Ding , Yang Gao
来源:[J].Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS(IF 1.148), 2018, Vol.17 (3), pp.035001-035001SPIE
摘要:This paper proposes a demodulation phase angle compensation (DPAC) for dual-mass MEMS gyroscopes with small frequency split (Δω) and low-quality factor ( Q value), to reduce the quadrature interference on Coriolis signal output. The harmful contribution of quadrature error a...

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